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                                        0755-82112558
      
136-3151-6816
                                    
      
                                
      
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
        
      
    
      

      


      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
        
      
    
      

      








      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
                        
      
                    
      

                
      
                          
      
                              
      
                                  
                              
      
                          
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      




      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                    空氣軸承定位平臺
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
        
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      空氣軸承定位平臺
      
                        
      
                    
      
                
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
      針對先端半導體與面板制程設備所開發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺。領先同業(yè)采用新型真空預壓低耗能氣浮軸承、動態(tài)反作用力平衡與慣性補償技術，可于千分之一秒內(nèi)達到奈米誤差內(nèi)要求，大幅減少運動整定時間與元件磨耗率，提升設備生產(chǎn)力與可靠性。完整智能化遠端系統(tǒng)偵測與全球客服支持提供，幫助客戶大幅縮短設備開發(fā)時程，節(jié)省許多整合時間與成本，使其更聚焦本身關鍵制程Know-how。
      
                
      
            
      
        
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
        
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
      
                
      
            
      

           



            
      
                
      
                    
                
      
            
      

            
      
                
      
                    
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
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    2. 
        
            
      
            
      首頁
      
              
    
      3. 
    
    3. 
        
            
      
            
      聯(lián)系電話
      
              
    
      4. 
    
    4. 
        
            
      
            
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      聯(lián)系人：
      
                    
                
      
                
      
                    
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